日本SMC真空壓力開關工作原理簡述
下圖是小孔口吸著確認型真空壓力開關的工作原理圖：圖中S4代表吸著孔口的截面積，S2是可調針閥的截面積，S1和S3是吸著確認型開關的內部孔徑，S1=S3.工件未吸著時，S4值較大。調節針閥，即改變S2值大小，使壓力傳感器兩端壓力平衡，即p1=p2。當工件被吸著時，S4=0，出現壓差p1-p2，被壓力傳感器檢測出。
真空壓力開關按功能分，有通用型和小孔口吸著確認型；按電觸點的形式分，有無觸點式和有觸點式。般使用的壓力開關，主要用于確認壓力，但真空壓力開關確認設定壓力的工作頻率高，故真空壓力開關應具有較高的開關頻率，即響應速度要快。
型號
ZS1051-K35MOZ-ECN-X139    ZSE2-01-15    ZSE3-0X-21CL    ZSE4D-01-25
ZSE1-00-14    ZSE2-01-15CL    ZSE3-0X-21CN    ZSE4D-01-25L
ZSE1-00-14CL    ZSE2-01-15L    ZSE3-0X-21L    ZSE4D-01-25-M
ZSE1-00-14CN    ZSE2-01-55    ZSE3-0X-22    ZSE4D-01-26
ZSE1-00-14L    ZSE2-01-55CN    ZSE3-0X-23    ZSE4D-T1-25L
ZSE1-00-15    ZSE2-01-55L    ZSE3-0X-23C    ZSE4E-01-26
ZSE1-00-15C    ZSE2-01-55L-Q    ZSE3-0X-23C-D    ZSE4E-01-26L
ZSE1-00-15CN    ZSE2-0R-15    ZSE3-0X-23CN-D    ZSE4E-01-27
ZSE1-00-15L    ZSE2-0R-15C    ZSE3-0X-24    ZSE4E-01-27L
ZSE1-00-16L    ZSE2-0R-15CN    ZSE3-0X-P21C-D    ZSE4E-01-67
ZSE1-00-17    ZSE2-0R-15L    ZSE3-0X-P23C-D    ZSE4ED-01-27
ZSE1-00-18    ZSE2-0R-55    ZSE3-0X-P23CN-D    ZSE4ED-01-27L
ZSE1-00-19    ZSE2-0X-15    ZSE3-OX-22    ZSE4ED-01-67L
ZSE1-00-55    ZSE2-0X-15C    ZSE3-OX-23    ZSE4-T1-25
ZSE1-00-55CL    ZSE2-0X-15C-D    ZSE3-OX-23C    ZSE4-T1-25L
ZSE1-00-55CL-Q    ZSE2-0X-15CL    ZSE3-OX-24    ZSE4-T1-25L-X104
ZSE1-00-55CN    ZSE2-0X-15CL-D    ZSE3-T1-23    ZSE4-T1-26
ZSE1-00-55L    ZSE2-0X-15CN    ZSE4-00-25-X105    ZSE5B-02-26L

日本SMC真空壓力開關工作原理簡述
使用注意
1）對尺寸很小，很輕的電子元件、精密小零件之類，使用的吸著孔口在ф2以下時，其真空壓力開關的閉合壓力和開啟壓力之差很小，必須選用像ZSP1系列這種遲滯小，且精度高的確認型開關。吸附能力大的真空發生器反而不能用于檢測小件，應選用合適能力的真空發生器。另外，保持真空發生器或真空泵的壓力穩定也很重要。
2）ZSE1系列的壓力設定靠可調電容器旋鈕，旋鈕的回轉角度有3圈式和200°式兩種。輸出有1個負載式和2個負載式。
3）設定壓力必須調到確認吸著的zui低真空度以上，以避免吸著不穩定。但真空度不易設定過高，以防高真空度達不到而開關不能接通的情況。
4）ZSM1系列真空壓力開關不要靠近強磁場及動力線。設定壓力調整螺釘的回轉圈數不要超過18圈，以免動作不良。
5）真空壓力開關瞬時增加0.5MPa的壓力，沒有變化，但不要經常加0.2MPa以上的壓力。