日本SMC電磁閥，SMC真空電磁閥
真空電磁閥是安裝在機械式真空泵上的閥門。閥門與泵接在同電源上，泵的開啟與停止直接控制了閥的開啟與關閉。當泵停止工作或電源突然中斷時，閥能自動將真空系統封閉，并將大氣通過泵的進氣口充入泵腔，避免泵油返流污染真空系統。真空電磁閥適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣體。
關于SMC真空電磁閥的選用
使用真空發生器的回路中的換向閥，有供給閥和真空破壞閥。使用真空泵回路中的換向閥，有真空切換閥和真空選擇閥。
供給閥是供給真空發生器壓縮空氣的閥。
真空破壞閥是破壞吸盤內的真空狀態，將真空變成大氣壓或正壓力，使工件脫離吸盤的閥。真空切換閥就是接通或斷開真空壓力源的閥。真空選擇閥可控制吸盤對工件的吸著或脫離，個閥兩個功能，可以簡化回路設計。

日本SMC電磁閥，SMC真空電磁閥
供給閥印設置于正壓管路中，可選用般換向閥。真空破壞閥，真空切換閥和真空選擇閥設置于真空回路或存在有真空狀態的回路中，故必須選用能在真空壓力條件下工作的換向閥。真空換向閥要求不泄露，且不用油霧潤滑。故使用座閥式和膜片式閥芯結構比較。通徑大時可使用外部導式電磁閥。不給油潤滑的軟質密封滑閥，由于其通用性強，也常作為真空用換向閥使用。
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