日本SMC不銹鋼真空直通閥，SMC高真空L型閥展示

系列/CAD
(L型/直通型)    動作方式    軸密封方式    閥形式    材質    法蘭尺寸
XMA/XYA     氣控    波紋管密封    單作用
(N.C.)    閥體：
SCS13
(相當SUS304) 
波紋管：
SUS316L    16～80注）
XMC/XYC     雙作用
XMD/XYD     波紋管
O型圈密封    單作用
(N.C.)    閥體：
SCS13
(相當SUS304)
波紋管：
SUS316L    25～80
XMH/XYH     手動    波紋管密封    手動    閥體：
SCS13
(相當SUS304)
波紋管：
SUS316L    16～50注）

日本SMC不銹鋼真空直通閥，SMC高真空L型閥展示
特長    
采用精密鑄造體化結構，無氣體滯留。
與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
關于SMC真空電磁閥的選用
使用真空發生器的回路中的換向閥，有供給閥和真空破壞閥。使用真空泵回路中的換向閥，有真空切換閥和真空選擇閥。
供給閥是供給真空發生器壓縮空氣的閥。
真空破壞閥是破壞吸盤內的真空狀態，將真空變成大氣壓或正壓力，使工件脫離吸盤的閥。真空切換閥就是接通或斷開真空壓力源的閥。真空選擇閥可控制吸盤對工件的吸著或脫離，個閥兩個功能，可以簡化回路設計。
供給閥印設置于正壓管路中，可選用般換向閥。真空破壞閥，真空切換閥和真空選擇閥設置于真空回路或存在有真空狀態的回路中，故必須選用能在真空壓力條件下工作的換向閥。真空換向閥要求不泄露，且不用油霧潤滑。故使用座閥式和膜片式閥芯結構比較。通徑大時可使用外部導式電磁閥。不給油潤滑的軟質密封滑閥，由于其通用性強，也常作為真空用換向閥使用。
要訂購“Nil”以外的內容（默認），請列出符號
用“X”表示，然后是“身體表面處理”，“
“密封材料”，然后“改變部分”。
示例）XLA-16-M9NA-XAN1A
注2）
注1）常溫下的值，不包括氣體滲透。
注2）有關更換部件，請參見14頁“構造”部件號。
數字表示“建設”的部件號